مزایای روش CVD:

1-فیلم ها یا همان روکش های تشکیل شده با روش CVD منسجم می باشند بدین معنی که ضخامت لایه در تمامی نقاط قابل مقایسه و یکنواخت می باشد.

2-توانایی رسوب گستره ی وسیعی از مواد

3-رسوبدهی مواد قابل رسوب با درجه خلوص بسیار بالا

 4-سرعت رسوب دهی مواد نسبتا بالاست

5-نیاز نداشتن به شکست خلا برای رسوب لایه های مختلف

6-این روش توانایی کنترل ساختار کریستال مورفولوژی سطح استیوکیومتری و جهت دهی رسوب را دارد.

 معایب روشCVD:

این روش ایمنی کمی دارد و پیش ماده ها گاه آلاینده یا انفجار پذیر هستند.

2-هیدرات ها و کربونیل ها سمی هستند (برای تولید ترکیبات فرار)

3-مواد آلی فلزی در تماس با هوا آتشگیر هستند,